高頻壓力傳感器一般是利用半導體硅極高的楊氏彈性模量和優(yōu)良的力學(xué)特性制成，使傳感器具有很高的固有頻率，結合內外部結構設計，減小了頻率損耗。從而獲得很高的響應頻率和上升時(shí)間，是測量高頻動(dòng)態(tài)壓力的理想產(chǎn)品。

在選擇高頻壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮它的綜合精度，而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。

首先的偏移量誤差：由于高頻壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過(guò)程的變化。

第三是線(xiàn)性誤差：這是一個(gè)對高頻壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性，但對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn)，也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。

最后是滯后誤差：在大多數情形中，壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

高頻壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備，利用最新技術(shù)來(lái)降低這些誤差，還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行一定的誤差校準，盡最大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。